Das thermische Verdampfersystem Aera® AS-92 bietet eine branchenführende Zuverlässigkeit und Durchflussstabilität, die zu einer messbar verbesserten Gleichmäßigkeit des Films und einer erhöhten Verfügbarkeit der Systembetriebszeit führen. Im Unterschied zu Einheiten, die eine ständige Drucknachfüllung und häufige Wartungen erfordern, ermöglicht der Verdampfer AS-92 eine gleichbleibende Abgabe verdampfter Flüssigkeiten wie TEOS, SiCl4, HMDS und anderer Vorläufermaterialien bei minimaler Wartung und ohne die Notwendigkeit einer ständigen Überwachung des Nachfülldrucks.

Die Verdampfer Aera AS-92 kombinieren führende Thermalkammer- und MFC-Technologien mit dem außergewöhnlichen Design und der Herstellungsqualität, die Sie bei einem Aera-Produkt voraussetzen. Das Ergebnis ist ein äußerst zuverlässiges, wartungsarmes System, das die verfügbare Betriebszeit, die Wiederholbarkeit des Prozesses sowie die Gleichmäßigkeit des Films für Halbleiter, FPD und andere zukunftsweisende Anwendungen, die eine hohe Stabilität der Dampfabgabe benötigen, erhöht.