Das thermische Verdampfersystem Aera AS-71 bietet eine branchenführende Zuverlässigkeit und Durchflussstabilität, die zu einer messbar verbesserten Gleichmäßigkeit der Schicht und einer erhöhten Anlagenlaufzeit führen. Im Unterschied zu Einheiten, die eine ständige Drucknachfüllung und eine häufige Wartung erfordern, ermöglicht der Verdampfer AS-71C eine gleichbleibende Abgabe verdampfter Flüssigkeiten wie TEOS, SiCI4, HCD und anderer Vorläufermaterialien bei minimaler Wartung und ohne die Notwendigkeit einer ständigen Überwachung des Nachfülldrucks. Optimal einsetzbar für den Bereich um 300 sccm können Flüsse bis zu 600 sccm erreicht werden.

Die Verdampfer Aera AS-71C kombinieren führende Wärmekammer- und MFC-Technologien mit dem außergewöhnlichen Design und der Herstellungsqualität, die Sie bei einem Aera-Produkt voraussetzen. Das Ergebnis ist ein äußerst zuverlässiges, wartungsarmes System, das die verfügbare Betriebszeit, die Wiederholbarkeit des Prozesses sowie die Gleichmäßigkeit der Schicht für Halbleiter, Flachdisplays und andere zukunftsweisende Anwendungen, die eine hohe Stabilität der Dampfabgabe benötigen, erhöht.

Vorteile	Leistungsmerkmale
Hochpräziser, genauer Flüssigdampfstrom Einfache Integration in jeden beliebigen Prozess Höhere Prozess-Effizienz ermöglicht äußerst gleichförmige und wiederholbare Eigenschaften der Schicht Erleichtert Prozessinnovation Erhöht die verfügbare Prozesszeit und den Durchsatz des Prozesses Reduziert Materialkosten sowie die Komplexität des Prozesses Ermöglicht außerordentlichen Bedienkomfort	Branchenführende Dampfdurchflussstabilität Thermische Verdampfungsmethode – stabile und robuste Leistung bei minimaler Wartung Hohe Betriebssicherheit – seit über 20 Jahren zuverlässige Tätigkeit auf diesem Gebiet Integrierte Aera-MFC für hohe Temperaturen Optionales Bedienteil und automatisches Nachfüllsystem Elektropolierte und ultrasaubere gasbenetzte Oberflächen