Die digitalen Massendurchflussregler MFC (Mass Flow Controllers) und Massendruchflussmesser MFM (Mass Flow Meters) der Aera® FC-D980-Reihe bieten außergewöhnliche Leistung und flexiblen Betriebseinsatz. Das Ergebnis: wesentliche Kostenersparnis und einfache Bedienung.
Mehrfache Ausgangsoptionen ermöglichen analoge oder digitale Steuerung zur Benutzung mit den meisten bestehenden Regelungs- und Kommunikationskonfigurationen. Um Ihren Prioritäten bezüglich Wert und Funktionalität zu entsprechen, verfügt diese Produktfamilie sowohl über Einzelgas- als auch über Multigas-Mehrbereichs-MFC. Multigas-Mehrbereichs-MFC senken die Kosten durch drastisch reduzierte Ersatzteilhaltung. Mit den umfassende Überwachungs- und Kontrollfunktionen von RS-485 Communications (RS-232 mit Umwandler), in Kombination mit umfangreichen Diagnostik- und Alarmfunktionen, haben Sie betriebliche Parameter stets zur Hand.

Literatur Download

Aera^® FC-D980 Digital Mass Flow brochure
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Effective Closed-Loop Control for Reactive Sputtering Using Two Reactive Gases, April 2004 magazine reprint
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
Basic Product Information and Troubleshooting for Aera^® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

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