Aera FC-7800 MFCs

AERA^® FLOW MANAGEMENT

Aera^® FC-7800 Serie

Die Massendurchflussregler der Advanced Energys® Aera® FC-7800 Serie bieten präzise Durchflussregelung wie auch die überlegene Festigkeit und ultrahohe Dichtigkeit von Metalldichtungen, um fast allen gasgesteuerten Anwendungen gerecht zu werden. Der hohe Benutzerkomfort mit Standard- oder exklusiven Aera-Steckverbindern ermöglicht einen raschen und einfachen Austausch bestehender Massendurchflussregler (MFCs).

Vorteile	Leistungsmerkmale
Schnelle Reaktion < 2 Sek. Ausregelzeit zwischen Sollwerten Unübertroffene Verlässlichkeit – Nullpunktdrift < 0,5% des max. Durchflusses in einem Jahr Einfache Integration – Standardstecker und -abmessungen Hervorragende Ergebnisse – hochqualitative Dünnfilmeigenschaften	Korrosionsbeständiges Design Metalldichtungen VCR®, VCO®, und Swagelok® kompatible Anschlüsse Metalldichtungsdesign Max. Durchflussbereich von 10 sccm bis 200 slm wahlweise mit geschlossenem oder geöffnetem Magnetventil Dichtigkeit 1x 10-10 atm-cc/s (He)

Literatur Download

Aera^® FC-7800 Series Thermal Mass Flow Controller brochure
Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
German version of Basic Product Information and Troubleshooting for Aera^® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

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