Mit dem branchenführenden Durchflussreglerverfahren wird die Aera^® PI-980^®-Reihe druckunempfindlicher Massendurchflussregler (MFC) der wachsenden Nachfrage nach Halbleiter-Herstellverfahren der nächsten Generation, wie z.B. Ätz-, CVD-, PVD- und Diffusionsverfahren, gerecht. Diese innovative Technologieplattform bietet im Vergleich zu bisherigen Verfahren und Konkurrenzprodukten schnellere Antwortzeiten, größere Gasfluss-Stabilität, höhere Genauigkeit und eine überlegene Echtzeit-Prozesssteuerung. Die hohe Flussstabilität sorgt für eine größere kammerübergreifende Prozess-Reproduzierbarkeit und somit eine höhere Produktionsausbeute.

Die Ausstattung der nächsten Generation des PI-980 MFCs umfasst eine herkömmliche thermische Flussbauweise mit Druckfühler, Temperaturfühler und der NeuralStep®-Steuerungstechnologie. So entstand ein kompaktes, umfassendes Paket, das eine Reihe teurer, üblicherweise benötigter Plasmabildschirm-Komponenten überflüssig macht. Die Multigas-, Mehrbereichs-Funktionalität verringert den Bevorratungsbedarf erheblich und erhöht damit die Kosteneffizienz noch weiter. Über die integrierte Diagnose hinaus wurde diese MFC-Technologie der nächsten Generation mit unserer bewährten Produktplattform der D980-Reihe kombiniert, um die Systemverfügbarkeit zu vergrößern und für schnelle und einfache Störungsverfolgung zu sorgen.

Vorteile	Leistungsmerkmale
Verbesserte Gaszuführungsleistung und Produktionsausbeute Leichte Werkzeugintegration Wesentliche Kostenersparnis für Gaspanel Reduzierte Gaspanelstandfläche Erhöhte Sicherheit Echtzeit-Kommunikation und -Steuerung Weltklasseservice und -support Erhöhte Systembetriebszeit	Druckunempfindlicher Betrieb  Hohe Präzision und Wiederholbarkeit Integrierte Gaspanelkomponenten Live-Gas-zertifiziert, Multigas-, Mehrbereichskonfiguration Feldprogrammierbar DeviceNet®-Steuerung Onboard-Display Integrierte Diagnostik Metalldichtungen Hochreines Design