HOCHFREQUENZ
The Apex platform delivers superb performance in plasma-based thin film processes for semiconductor, flat panel display, or data storage manufacturing.
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Apex® HF-Stromlieferungssysteme

Die vielseitige Apex® Produktfamilie an HF-Generatoren und Stromlieferungssystemen stützt sich auf raffinierte HF-Wandlungstechnologie, um erhöhte Produkt- und Prozessverlässlichkeit in modularem Design für Kammermontage zu bieten. Die Apex-Plattform sorgt für hervorragende Performance bei plasmabasierten Dünnfilmprozessen zur Herstellung von Halbleitern, Flachbildschirmen oder Datenspeichern.


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Höhere Leistungsdichte
  • Verbesserte Prozessflexibilität
  • Höhere Ausbeute
  • Geringere Betriebskosten
  • Einfachere Prozessgerätintegration
  • Flexible Kommunikation
  • Stromlinienförmiges Design
  • On-Board-Kammer-Montage, On-Tool-Rahmenmontage, Gestellmontage und Shoebox-Option
  • Breitband-Regelkreise und optionale Pulsung mit hoher Wiederholungsrate
  • branchenführendes Arc-Management
  • Regulierungskonform


Literatur Download

Apex® RF Generators and Power Delivery Systems brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advanced Energy RF Calibration Process (2002) white paper
The Evolution of RF Power Delivery in Plasma Processing (2001) white paper
Forward and Reflected Powers. What Do They Mean? (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Arcing Problems Encountered During Sputter Deposition of Aluminum (2000) white paper
Stabilizing RF Generator and Plasma Interactions, April 2004 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
March 26, 2008 - Advances in Radio Frequency Plasma Power Delivery Systems presentation
RF Power Fundamentals Course data sheet
AE Global Services brochure


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