Ascent® AMS DC-Stromversorgungen—30, 40, und 60 kW
Branchenführendes Arc Management - robuste Stromversorgungen speziell für Prozesse, die auf Bogenentladungen empfindlich reagieren, mit hochpräzisen und wiederholbaren Prozessergebnissen.

Mit wachsenden technischen Anforderungen, stellen neue Materialien und Kathoden Designs ebenso höhere Anforderungen an Stabilität und Reporduzierbarkeit des Prozesses. Ascent® AMS Stromversorgungen bieten stabile, wiederholbare Leistung, unabhängig vom Prozessmaterial oder Kathodendesign.

Sehen Sie auch: Ascent® Zubehör für das Doppelmagnetron-Sputtern (DMS)


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Hohe Filmqualität und Durchsatzleistung
  • Reduzierung von Schäden an Film, Substrat, und Anlage
  • Stabile Durchsatzleistung und Stromversorgung, auch unter extremen Prozessbedingungen
  • Vereinfache Integration und Kontrolle
  • Arc Management System™ (AMS) Technologie - Voreinstellungen für Metall- und Keramik-Anwendungen
  • Set Point Compensation™-Technologie
  • Arc Sync® Technologie für bis zu 12 Geräte im Master-/Slave-Betrieb
  • Unterstützt Ethernet, EtherCAT®, DeviceNet®, Profibus, RS-232/485, sowie analoge Kommunikationsschnittstellen
  • Virtual Front Panel (VFP) Software, Remote-Panel & passives Frontpanel
  • RoHS, CE, NRTL, SEMI S2, und SEMI F47 konform
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