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Ascent® DC-Stromversorgungen mit Arc Management System™-Technologie

Die robusten Stromversorgungen vom Typ Ascent wurden speziell für Prozesse entwickelt, die auf Bogenentladungen empfindlich reagieren. Ascent-Stromversorgungen liefern hochpräzise und genau die Ausgangsleistungen für Schichten mit höchster Qualität.

Strengste Qualitätssicherungsprogramme garantieren ein Höchstmaß an Zuverlässigkeit der Stromversorgung. Die äußert effektiven Arc Management System™-Funktionen löschen Arcs und beugen so unnötige Schäden der Schichten oder Prozessunterbrechungen vor. Gleichzeitig können mithilfe der Set Point Compensation™-Technologie die Vorgabe und die Sputterrate selbst in Prozessen mit intensivem Arc-Verhalten (hohen Arc-Raten) angeglichen werden. Ascent-Stromversorgungen können problemlos integriert und betrieben werden. Dem Benutzer stehen verschiedene Interfaces (RS-232/485, Profibus, Ethernet) und Bedienoberflächen zur Verfügung, so zum Beispiel eine einfach zu bedienende Software mit dem Namen VFP-Software (Virtual Front Panel). Außerdem können die Stromversorgungen im Master-/Slave-Modus betrieben oder mithilfe der Arc-Sync™-Technologie an mehreren benachbarten Kathoden eingesetzt werden.
Egal in welcher Konfiguration Sie die Ascent-Stromversorgung einsetzen, sie können sich immer auf qualitativ hochwertige und wiederholbare Prozessergebnisse verlassen.


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Garantiert höchste Zuverlässigkeit in der Praxis
  • Effektive Kontrolle und Management von Arcs für verbesserte Filmqualität, Produktivität, Durchsatzleistung und Prozessausbeute
  • Vereinfacht die Integration von Stromversorgungen in Sputterprozessen für die Bereiche:
    o Solar
    o FPD
    o Industrielle Beschichtung
    o Bandbeschichtung
  • 30-, 40-, und 60-kW-Modelle verfügbar
  • Arc Management System™-Technologie (bereits patentiert bzw. zum Patent angemeldet)
  • Set Point Compensation™-Technologie
  • Virtual Front Panel über VFP-Software verfügbar
  • Remote-Panel & passives Frontpanel
  • Unterstützt RS-232/485, Ethernet, Profibus sowie analoge Kommunikationsschnittstellen
  • Bis zu 12 Geräte im Master-/Slave-Betrieb
  • Technischer Support 24 Stunden am Tag, 7 Tage die Woche und 365 Tage pro Jahr
  • RoHS-konform

 

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