Ascent® Zubehör für das Doppelmagnetron-Sputtern (DMS) — 30 bis 180 kW
Mit der DMS-Serie von Ascent® gelingt das Doppelmagnetron-Sputtern mit bislang unerreichter Leichtigkeit und Steuerbarkeit. Dies ermöglicht eine präzise Abstimmung der Schichteigenschaften. Durch einen Regulierungsmodus und Betriebszyklus mit auswählbarer Frequenz, eine geringe Menge an Speicherenergie und einen vereinfachten modularen Systemaufbau hebt sich das Ascent-DMS-Zubehör als fortschrittliche Technik der nächsten Generation ab. Es ist kosteneffektiv, skalierbar und vielseitig, minimiert die Komplexität, steigert die Qualität und erhöht den Durchsatz für noch mehr Prozessinnovation.

Siehe auch Ascent AMS DC-Netzanschlussgeräte.

Vorteile Merkmale
  • Erhöhter Schichtwert: Wiederholbare, anpassbare Depositionsschichten
  • Geringere Betriebskosten und höhere Produktivität
  • Weniger Startkosten
  • Hoher Leistungspegel mit weniger Arc Energie
  • Mühelos skalierbar und integrierbar, mit wenig Wartungsaufwand
  • Modular und skalierbar (Geräte mit 30, 40 und 60 kW, konfigurierbar auf bis zu 180 kW)
  • Auswählbare Frequenz (500 Hz bis 50 kHz)
  • Leistungs-, Strom- oder Spannungsregelung
  • Anpassbarer Betriebszyklus – unabhängige Leistungsregelung für jedes Magnetron
  • Unipolarer und bipolarer Betrieb
  • Geringstmögliche Lichtbogenenergie mit jedem industriellen Doppelmagnetron-Sputter-Netzanschlussgerät
  • CEX (Phasensynchronisation)
  • EU RoHS-konform