NIEDER- / MITTELFREQUENZ
Photo of Crystal high power system
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Crystal®

Die Crystal® Netzgeräte von Advanced Energy (AE) eignen sich optimal für großflächige Glasbeschichtungen von Architekturglas, Auto-Glas, entspiegeltem Glas und Spiegelglas – für höhere Ausbeute und weniger Defekte. Mit ihrer 180-kW-Leistungsoption bieten diese Netzgeräte breite niederfrequente sinusförmige Prozessleistung für Doppelmagnetron-Sputtern-Anwendungen. Das Crystal Netzgerät von AE ist das einzige Hochleistungs-Wechselstromnetzgerät mit speziell für Plasmaumgebungen konzipierter Struktur.


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Höhere Flexibilität
  • Höhere Ausbeute
  • Geringere Ausfallzeit 
  • Höherer Durchsatz
  • Breite, niederfrequente sinusförmige Prozessleistung
  • Hochleistungs-180-kW-Leistungsstufen
  • Spezielles Design für Plasmaumgebungen


Literatur Download

Crystal® AC Power Supplies:  60, 100, 120, 150, and 180 kW brochure  
Power for Glass Coating
Understanding and Optimizing Static Deposition Processes for TFT Manufacturing (2008) white paper
Power Supply Topologies white paper
Performance Considerations of High-Power AC Plasma Deposition Power Supplies (2004) white paper
Design Aspects of Large-Area Coating Supplies (2004) white paper
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
The Evolution of Power Delivery in Reactive Silicon Sputtering (1999) white paper
Effects of the Anode Configuration on Substrate Heating in Dual-Magnetron Sputtering (1999) white paper
Enhanced Reactively Sputtered Al2O3 Deposition by Addition of Activated Reactive Oxygen (1999) white paper
Closed-Loop-Controlled, Reactive, Dual-Magnetron Sputtering (1999) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
A New Generation of Power Supplies for Large Area Dual Magnetron Sputtering, April 2002 magazine reprint
AE Global Services brochure

 

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