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Grundlagenseminar: Von DC- bis Niederfrequenzstromversorgungen für plasmagestützte Prozesse

Dieser Kurs führt in die Geheimnisse der Plasmaprozesse und Stromversorgungen ein. Anfänger und Experten lernen gleichermaßen Möglichkeiten und Grenzen von Gleichstrom-, gepulsten Gleichstrom- sowie Niederfrequenzversorgungen (40 bis 400 kHz) für verschiedenste Plasmaprozesse kennen.

Die Kursteilnehmer lernen die Bedeutung des Begriffes „Arcing“ kennen. Sie werden u.a. über die Ursache und den Umgang mit Arcs unterrichtet. Das wird ihnen helfen die Prozesseffizienz und Produktausbeute ihrer Plasmaanlage zu maximieren. Außerdem befasst sich dieser Kurs mit grundsätzlichen Vorgehensweisen zu Fehlersuche. Das wird Ihren Mitarbeitern helfen Fehler an Stromversorgungen von anderen Anlagenproblem zu isolieren. Der Praxisteil mit einem Plasmasystem auf Laborebene hat sich als äußerst effektiv bei der Demonstration der behandelten Kursinhalte erwiesen und ermöglicht den Teilnehmern eine unmittelbare Umsetzung in die Praxis.
 
Vorteile Leistungen
  • Geringere Anlagenbetriebskosten 
  • Optimierte Anlagenproduktivität 
  • Bessere Kenntnisse zur Problemlösung und diagnostische Qualifikationen 
  • Erhöhtes Prozessverständnis
  • Erhöhte Ausbeute durch Optimierung der Anlagenleistung 
  • Den Begriff “Arcing” verstehen
  • Grundlegende Erdungskonzepte verstehen 
  • Probleme an Stromversorgungen von Anlagenproblemen isolieren
  • Verstehen wann und warum Gleichstrom, gepulste Gleichstrom oder Wechselstrom Versorgungen eingesetzt werden sollten

 

Literatur Download

DC through Low-Frequency Power-Delivery Essentials data sheet
DC Pulsing Products: Proven Benefits for Reactive & Conductive Sputtering brochure
PDX® High-Power Series data sheet
PDX® Low-Power Series data sheet
PEII Low-Frequency Power Supplies: 5 kW to 60 kW brochure
MDX 1 kW and 1.5 kW Magnetron Drives brochure
MDX Series 500 W Magnetron Drive brochure
AE Global Services brochure
 

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