Produktreihe gepulster Gleichstrom
Photo of DC Pulsing Product Suite
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Diese Produktfamilie von AE deckt ein breites Leistungsspektrum ab, um all Ihren komplexen und unterschiedlichen Prozessanforderungen gerecht zu werden. Die flexible Kollektion für gepulsten Gleichstrom liefert Strom von 10 bis 200 kW sowie fixe und variable Frequenzen von 2 - 100 kHz. Jedes Mitglied dieser Familie ist mit Leistungsmerkmalen ausgestattet, die erwiesene Vorteile für reaktives und leitfähiges DC-Sputtern bringen.


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Hohe Filmqualität und Durchsatzleistung
  • Reduzierung von Schäden an Film, Substrat, und Anlage
  • Stabile Durchsatzleistung und Stromversorgung, auch unter extremen Prozessbedingungen
  • Vereinfache Integration und Kontrolle
  • Modernste gepulste Gleichstrom-Technologie
  • Geringere Substrattemperatur
  • Höherer Leistungsbereich
  • Stabile und zuverlässige Leistung
  • Arc Management System™ (AMS) Technologie - Voreinstellungen für Metall- und Keramik-Anwendungen
  • Set Point Compensation™-Technologie - für stabile Durchsatzleistung
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