PFC ABGASVERMINDERUNG
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Litmas® RPS für PFC-Abgasreinigung

Das Litmas™ RPS-System ist eine Lösung für die Abgasreinigung, die den Anteil an der globalen Erwärmung in der Halbleiterindustrie reduziert. In diese linear-induktive Hochleistungsplasmaquelle sind ein 2-MHz-Netzgerät sowie eine Abstimmschaltung eingebaut. Sie verfügt über einen breiten Impedanzbereich bei CVD-, Ätz- und Ashing-Verfahren.
Vorteile

Vorteile Leistungsmerkmale
  • Wirksame Reduzierung von umweltschädigenden PFC-Gasen mit hoher Zerstörungseffizienz
  • Geringere Abgaskosten
  • Minimaler Vordruckeffekt
  • Maximale Leistungseffizienz und Prozessflexibilität
  • Konsistente Performance und Verlässlichkeit bei zahlreichen Chemieverfahren
  • Nahtlose Integration ohne Prozessauswirkung

  • Lineare induktive Plasmaquelle und High-tech-Stromlieferung in einem System
  • Kompaktes integriertes Design
  • Geringer Wasser- und Stromverbrauch (kein Brennstoff erforderlich)
  • Hohe Leitfähigkeit, fluorfest, zylinderförmige Keramikkammer
  • Keine Subfab-Standfläche erforderlich

Literatur Download

Litmas® RPS 1501 and 3001 Remote Plasma Source Platform brochure
Litmas® RPS Remote Plasma Source technical specification
AE Global Services brochure

Weitere Informationen

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