HOCHFREQUENZ
Photo of HFV Variable Frequency Generator RF power system
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HFV® Generatoren mit variabler Frequenz (~2 MHz)

Der flexible HFV® Generator, der in erster Linie als Plasmagenerator bei der 200- und 300-mm-Waferverarbeitung eingesetzt wird, bietet Prozesskonsistenz für die ionisierte physikalische Gasphasenabscheidung (IPVD), CVD und Ätzung. Zu den Leistungsmerkmalen dieses vielseitigen Generators zählen ein digital synthetisierter Ausgang mit variabler Frequenz und eine Mikroprozessorsteuerung mit Ausgangsleistung von 5 und 8 kW. Zudem steht ein Ausgangsfrequenzbereich von 1.765 bis 2.165 MHz zur Verfügung. Die firmwareintegrierten Frequenzabstimmungsparameter können individuell eingestellt werden, um einen wiederholbaren Betrieb mit großer Auswahl an Kammerkonfigurationen und Prozessrezepten zu garantieren.


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Erhöht die Run-to-Run-Präzision
  • Sorgt für Vielseitigkeit
  • Erhöht die Verlässlichkeit
  • Erhöht die Prozessflexibilität
  • Reduziert die Betriebskosten
  • Individuell einstellbare Frequenzabstimmungsparameter
  • Ausgangsfrequenz einstellbar zwischen 1,765 und 2,165 kHz
  • 5 und 8 kW Ausgangsleistung
  • Digital synthetisierter Frequenzausgang
  • Mikroprozessorsteuerung


Literatur Download

HFV Variable-Frequency (˜2 MHz) Generators data sheet
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advanced Energy RF Calibration Process (2002) white paper
The Evolution of RF Power Delivery in Plasma Processing (2001) white paper
Forward and Reflected Powers. What Do They Mean? (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
RF Power Fundamentals Course data sheet
AE Global Services brochure

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