LOW- / MID-FREQUENCY POWER SYSTEMS
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LFGS RF-Generatoren

LFGS Generatoren sind universelle RF-Netzgeräte für die Halbleiterherstellung und für allgemeine Plasmaprozesse. Diese Generatoren variabler Frequenz sind als Halbbrücke, Klasse-D Verstärker im luftgekühlten kompakten 19"-Rack ausgeführt. Typische Anwendungen sind u. a. Sputtern, reaktive Ätzung, Plasmaablagerung, Polymerisation und Oberflächenbehandlungen.

Vorteile Eigenschaften
  • Erzielen der geringsten reflektierten Leistung, die auf dem gewerblichen Markt erhältlich ist
  • Einfache Installation
  • Effiziente Raumausnutzung
  • Variable Frequenz
  • Luftkühlung
  • Verbessertes Betriebsmenü
  • Aktives Frontpanel
  • Pulsfrequenz von 0 bis 10 kHz
  • CEX Betriebsmodus
  • 2 analoge User-Ports
  • RS-232, Ethernet und PROFIBUS


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