LFGS RF-Generatoren
LFGS Generatoren sind universelle RF-Netzgeräte für die Halbleiterherstellung und für allgemeine Plasmaprozesse. Diese Generatoren variabler Frequenz sind als Halbbrücke, Klasse-D Verstärker im luftgekühlten kompakten 19"-Rack ausgeführt. Typische Anwendungen sind u. a. Sputtern, reaktive Ätzung, Plasmaablagerung, Polymerisation und Oberflächenbehandlungen.
| Vorteile |
Eigenschaften |
- Erzielen der geringsten reflektierten Leistung, die auf dem gewerblichen Markt erhältlich ist
- Einfache Installation
- Effiziente Raumausnutzung
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- Variable Frequenz
- Luftkühlung
- Verbessertes Betriebsmenü
- Aktives Frontpanel
- Pulsfrequenz von 0 bis 10 kHz
- CEX Betriebsmodus
- 2 analoge User-Ports
- RS-232, Ethernet und PROFIBUS
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