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FLÜSSIGKEITS-MFCs
Aera® LX-1200 series liquid MFCs: precise, accurate, reliable liquid flow control that prevents bubble formation and retention problems. Ideal for liquids such as TEOS, TMP, and TMB.
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Aera® LX-1200 Serie - MFC FÜR FLÜSSIGKEITEN (LMFC)

Die LMFC der Aera® LX-1200 Serie regeln den Strom einer Flüssigkeit, nicht den erhitzten Dampf. Ihr einzigartiges Design verhindert Blasenbildung und Retentionsprobleme, die häufig bei LMFC der Konkurrenz auftreten.
Die Aera LX-1200 MFC eignen sich ideal für Flüssigkeiten wie TEOS, TMP und TMB.
Vorteile Leistungsmerkmale
  • Präzise, genaue Durchflussregelung
  • Hohe Verlässlichkeit
  • Keine Blasenbildung
  • Einzigartiger Durchflussweg und Komponenten, die Blasenbildung und Retention verhindern

Literatur Download

Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet
German version of Basic Product Information and Troubleshooting for Aera® MFCs and MFMs
AE Global Services brochure

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