GLEICHSTROM
Foto der MDX-Gleichstromversorgungsreihe mit 1 kW und 1,5 kW
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MDX Serie 1 kW und 1.5 kW

Die exakte Einstellbarkeit, die hervorragende Bogenentladungsunterdrückung und die geringe gespeicherte Ausgangsenergie machen die Gleichstromversorgungen der MDX-Reihe zu Branchenführern. Die robusten Stromversorgungen sind für den harten Dauereinsatz in einer Vakuumumgebung gedacht und werden häufig als Gleichstrom-Sputteransteuerung von Magnetrons eingesetzt. Sie bieten darüber hinaus exakte Einstellbarkeit als Arbeitspunktstromversorgung für HF-Sputter- und Ätzsysteme. Dank ihrer kompakten Bauweise sind sie hervorragend für Laborsysteme geeignet.
Vorteile Leistungsmerkmale
  • Exakte Einstellbarkeit
  • Höhere Ausbeute
  • Kürzere Target-Burn-In-Phase
  • Hohe Zuverlässigkeit
  • Einfache Wartung und einfacher Austausch
  • Geringe gespeicherte Ausgangsenergie
  • Geringe Welligkeit
  • Einstellbare Arc-Unterdrückungszeit
  • Hoher Wirkungsgrad
  • Kompakte Bauweise
  • Spannungs-, Strom- und Leistungssteuerungsmodus
  • Steuerung über Frontpaneel und Analogschnittstelle
  • Komplette Reihe von Schutzfunktionen


Literatur Download

MDX 1 kW and 1.5 kW Magnetron Drives brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advances in Arc-Handling in Reactive and Other Difficult Processes (2001) white paper
How Advanced Energy's MDX Products Manage Arcs (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Pulsed-DC Reactive Sputtering of Dielectrics: Pulsing Parameter Effects, April 2000 magazine reprint
Reactive Sputtering Using a Dual-Anode Magnetron System, April 2001 magazine reprint
Biased Dual Magnetron Sputter Deposition of Alumina, April 2002 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
Single-Magnetron Approach Reactive Sputtering of Dielectrics, September 2000 magazine reprint
AE Global Services brochure

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