MDX Serie 1 kW und 1,5 kWPhoto of MDX Series 1 kW and 1.5 kW DC power system
   
Die exakte Einstellbarkeit, die hervorragende Bogenentladungsunterdrückung und die geringe gespeicherte Ausgangsenergie machen die Gleichstromversorgungen der MDX-Reihe zu Branchenführern. Die robusten Stromversorgungen sind für den harten Dauereinsatz in einer Vakuumumgebung gedacht und werden häufig als Gleichstrom-Sputteransteuerung von Magnetrons eingesetzt. Sie bieten darüber hinaus exakte Einstellbarkeit als Arbeitspunktstromversorgung für HF-Sputter- und Ätzsysteme. Dank ihrer kompakten Bauweise sind sie hervorragend für Laborsysteme geeignet.
Vorteile Leistungsmerkmale
  • Exakte Einstellbarkeit
  • Höhere Ausbeute
  • Kürzere Target-Burn-In-Phase
  • Hohe Zuverlässigkeit
  • Einfache Wartung und einfacher Austausch
  • Geringe gespeicherte Ausgangsenergie
  • Geringe Welligkeit
  • Einstellbare Arc-Unterdrückungszeit
  • Hoher Wirkungsgrad
  • Kompakte Bauweise
  • Spannungs-, Strom- und Leistungssteuerungsmodus
  • Steuerung über Frontpaneel und Analogschnittstelle
  • Komplette Reihe von Schutzfunktionen
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