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Photo of MDX Series 500 W DC power system
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MDX Serie 500 W

Die MDX 500 ist für den Dauereinsatz bei der Vakuumbeschichtung vorgesehen. Es bietet mehrstufige Unterdrückung und Löschung verschiedener Arc-Typen in der Magnetronumgebung. Es ist führend beim Magnetronsputtern, Gleichstromsputtern mit HF-Bias sowie HF-Sputtern mit DC-Bias. Aufgrund seiner kleinen, kompakten Größe eignet es sich ideal für Laborsysteme und Kleinproduktionen.


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Integrierter Überlastungsschutz
  • Verlässlichkeit und Wartungsfähigkeit
  • Schnelle Reaktionszeit
  • Konformitätszertifizierungen
  • Mehrstufige Arc-Unterdrückung und -Löschung
  • E/A-Benutzerzugang
  • Leistungs-, Strom- oder Spannungsquellenfähigkeit


Literatur Download

MDX Series 500 W Magnetron Drive brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advances in Arc-Handling in Reactive and Other Difficult Processes (2001) white paper
How Advanced Energy's MDX Products Manage Arcs (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
Single-Magnetron Approach Reactive Sputtering of Dielectrics, September 2000 magazine reprint
AE Global Services brochure


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