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Fotos des Navigator® digitalen Anpassungsnetzwerks
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Navigator® Digitales Impedanzanpassungsnetzwerk

Die flexible und fortschrittliche Technologie des Anpassungsnetzwerks Navigator® sorgt für eine schnelle, genaue und zuverlässige Anpassung für eine breite Spanne von Lastimpedanzen von bis zu 30 kW und Frequenzen von bis zu 60 MHz. Das Navigator-Anpassungsnetzwerk ist mit einem mikroprozessorgesteuerten Schrittmotor und modernen Abstimmalgorithmen ausgestattet und bietet eine höhere Gleichmäßigkeit und Genauigkeit als traditionelle Abstimmverfahren auf analoger Basis. Das Ergebnis ist eine optimierte RF-Leistungsversorgung für Plasmaprozesse in der Halbleiter-, Solarzellen-, FPD- und MEM-Herstellung, darunter Ätzbearbeitung, PECVD, PVD und Reinraumanwendungen. Ein optionaler interner Z’Scan® II RF-Sensor liefert Echtzeitmessungen und eine Analyse der Prozessleistung und Impedanz, so dass Sie Prozessschwankungen identifizieren und stark reduzieren können. Dazu ermöglicht die optionale Software Virtual Front Panel (VFP) es Ihnen, das Anpassungsnetzwerk über einen Anwendercomputer zu überwachen und zu steuern.

Vorteile Leistungsmerkmale
  • Kürzere Ansprechzeiten bei Abstimmung/Anpassung
  • Präzisere Prozesssteuerung
    Erhöhter Werkzeugdurchsatz und Produktertrag
  • Mehr Zuverlässigkeit und geringere Betriebskosten
  • Digitale Architektur mit verbesserten Abstimmalgorithmen
    • Gepulste RF-Leistungsversorgung
    • Kippfrequenzbetrieb
    • Immunität gegenüber Intermodulationsverzerrung (IMD) bei Mehrfrequenzanwendungen
  • Echtzeitmessung von Prozessleistung und Impedanz


Literatur Download

Navigator® Digital Matching Network brochure
Optimized Process Performance Using the Paramount™/Navigator® Power-Delivery/Match Solution (2007) white paper
Arc Handling in RF-Superimposed DC Processes (2006) white paper
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
RF Measurements and Their Role in the Manufacturing Environment (2000) white paper
Tuner Topics (2007) white paper
Impedance Matching (2001) white paper
Arcing Problems Encountered During Sputter Deposition of Aluminum (2000) white paper
Traditional Chinese version of AE Celebrates Its 25-Year Anniversary With New Product Launches, October 2006 magazine reprint   
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
March 26, 2008 - Advances in Radio Frequency Plasma Power Delivery Systems presentation

RF Power Fundamentals Course data sheet
AE Global Services brochure

 

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