Die fortschrittliche Technologie des vielseitigen Navigator® Anpassungsnetzwerks bietet eine schnelle, präzise und verlässliche Anpassung über einen weiten Bereich von Lastimpedanzen (15 W bis 30 kW). Ausgestattet mit einer mikroprozessorgesteuerten Schrittmotorschaltung und digitalen, benutzerseitig wählbaren Abstimmalgorithmen, bietet es größere Konsistenz und Genauigkeit als traditionelle analoge Abstimmungsmethoden. Dies ermöglicht die Optimierung der im Herstellungsprozess von Halbleitern, Solarpaneelen, FPDs und MEMs bereitgestellten Prozessenergie, inklusive der Anwendung beim Ätzprozess, CVD, HDP-CVD, PVD und der Kammerreinigung. Ein optionaler interner Z’Scan® HF-Sensor gestattet die Echtzeitmessung und Analyse der Prozessleistung und Impedenz und erlaubt Ihnen damit, Abweichungen im Prozess zu erkennen und erheblich zu reduzieren. Darüber hinaus erlaubt die Virtual Front Panel (VFP) Software die Überwachung und Steuerung des Anpassungsnetzwerkes über einen PC.