Anhand der Implementierung eines einzigartigen Stromlieferungsschemas ermöglicht das vollintegrierte Ovation Stromlieferungssystem schnellere, hochpräzise Prozesse, wie sie für anspruchsvolle dielektrische Ätzprozesse mit schmaler Linienbreite erforderlich sind. Es ist das erste System für präzise Stromlieferung in eine nicht-50-Ohm-Umgebung ohne externen Sensor, mit schnellerer Reaktion als herkömmliche Netzgeräte. Das 60-MHz-Design reduziert das Spannungspotenzial der Plasmahülle, minimiert Ionenätzschäden und erhöht somit die Filmqualität sowie Ausbeute.

Vorteile	Leistungsmerkmale
Erweiterte Prozessfenster Erweiterte Prozessfähigkeiten Bessere Plasmaeigenschaften Höhere Ätzrate, Selektivität und Homogenität Geringere Betriebskosten	2760 W, 60 MHz (höhere Leistungsanforderungen auf Anfrage) Sweep Frequenz Nicht-50-Ohm-Messfähigkeit Analoge, RS-232 und Ethernet-Steueroptionen  1/2-Rack-Option mit kleinerer Standfläche für Leistung bis zu 2,7 kW Hoch stabil und verlässlich Experten Support für die Anwendungen