NIEDER- / MITTELFREQUENZ
Photo of PDX low-/mid-frequency power system
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PDX® Mittelfrequenzgeneratoren

Die PDX® Serie mit ihren Kleinleistungs- (1250 und 1400 W) sowie Hochleistungs- (5000 und 8000 W) Mittelfrequenzgeneratoren bietet eine hocheffiziente, kompakte, leicht integrierbare Leistungsquelle für verschiedenste Prozessanwendungen. Diese hochverlässlichen Generatoren sorgen für höhere Prozessflexibilität, bieten einen breiten Betriebsfrequenzbereich für optimierte Prozesssteuerung, garantieren hohe Prozesswiederholbarkeit und verbessern den Durchsatz.



Literatur Download

PDX® High-Power Series data sheet
PDX® Low-Power Series data sheet
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Advanced Energy RF Calibration Process (2002) white paper
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003, magazine reprint
RF Power Fundamentals Course data sheet
AE Global Services brochure


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