NIEDER- / MITTELFREQUENZ
Photo of PEII Series low/mid-frequency power system
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PEII Niederfrequenz-Serie

Die PEII Niederfrequenzserie bietet 40-kHz-Netzgeräte mit Pulsweitenmodulation (PWM) mit verstärkter Arc-Steuerung und interner Lastanpassung mit Ausgängen bis zu 60 kW - ohne externe Hardware wie z.B. Transformatoren.
Vorteile Eigenschaften
  • Regulierung von Energie- und Stromzufuhr sowie Spannung 
    Maximum an Flexibilität und Modularität 
  • Erweiterte Bogenentladungskontrolle 
  • Automatischer Prozess-Schutz 
  • Große Hahnauswahl 
  • Hohe Energiedichte
  •  5 kW und 10 kW-Varianten (Master/Slave bis zu 60 kW)
  • Interner Lastenausgleich (10:1 Impedanzintervall)
  • Zwei getrennte Lichtbogen lenkende Kreisläufe
  • Effiziente, kompakte, wassergekühlte Konstruktion
  • Umfangreiches Zubehör auf Wunsch
  • CE-konform

Literatur Download

PEII Low-Frequency Power Supplies: 5 kW to 60 kW brochure
Signal Integrity for Vacuum Processing Systems (2003) white paper
Power Systems for Reactive Sputtering of Insulating Films (2001) white paper
Introducing Power Supplies and Plasma Systems (2001) white paper
Optical Emission Studies for the Characterization of Pulsed Magnetron Sputtering Systems, April 2002 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
AE Global Services brochure

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