Paramount RF Stromversorgungssysteme

HOCHFREQUENZ

Right Click To Select or Upload Your Product Image.

Paramount^® RF Stromversorgungssysteme

Das 3 kW Paramount^® RF Stromversorgungssystem im Halbrackformat zeichnet sich durch sein verbessertes Leistungs- und Impedanzmesssystem aus.

Dieses bietet eine bemerkenswerte Genauigkeit bei der Leistungsmessung und -kontrolle für feste Frequenzen von 13,56 MHz oder variable Frequenzen für Plamaimpedanzen von 50Ω und nicht 50Ω über ein Spannungsstehwellenverhältnis (VSWR) von 3:1 hinaus.

Das Paramount RF Stromversorgungssystem ist in der Lage, mit den meisten abrupten Schwankungen der Plasmaimpedanz - in Echtzeit - Schritt zu halten und ermöglicht schnellere Übergänge, kürzere Prozessschritte und reduzierte Bearbeitungszeiten für Technologien der nächsten Generation.

Seine Impedanzmessung kommt der Genauigkeit eines Netzwerkanalysators gleich, indem eine optionale Frequenzabstimmung die Einstellung praktisch sofort (d.h. in Millisekunden) vornimmt - schneller als alle übrigen Produkte auf dem Markt. Das Ergebnis ist eine bislang beispiellose Genauigkeit, Reproduzierbarkeit und Prozesssteuerung.

Vorteile

Leistungsmerkmale

Optimiert die Uniformität des Films und den Durchsatz mit einer beispiellosen Genauigkeit bei der Leistungsabgabe
Ermöglicht Ätz- und Beschichtungsprozesse mit schnelleren Prozessübergängen
Erleichtert nahtlose Prozessübergänge
Verbessert die Prozessausbeute
Maximiert Kapitalrendite

Das Messsystem der nächsten Generation ermöglicht eine hochgenaue Leistungs- und Impedanzmessung des gesamten Ausgangsbereichs - bei Impedanzen von 50Ω und nicht 50Ω
Nahezu sofortige Frequenzabstimmung (optional)
Impuls- und Pulssynchronisation mit dem weitesten verfügbaren Pulsfrequenzbereich (optional)
HALO - hohe Genauigkeit, geringe Ausgangsleistung - und Arc-Managementsystem (optional)
Kompaktes Gehäuse im Halbrackformat