Pinnacle® Diamond™
Das Pinnacle® Diamond™ DC Netzgerät bietet sowohl für Prozess- und Bias-Applikationen den höchstmöglichen Effizienz- sowie Leistungsfaktor und somit die branchenweit geringsten Betriebs- und Installationskosten. Die beachtliche Prozesskonsistenz sowie –steuerung von Pinnacle garantieren zusätzliche Vorteile: bedeutend geringere Variation und höhere Ausbeute – all dies mit einer außergewöhnlich kompakten Einheit.
| Vorteile |
Leistungsmerkmale |
- Erwiesene Performance und Verlässlichkeit von Pinnacle
- Maximale Prozesseffizienz - minimale Betriebs- und Installationskosten
- Vielseitig – hervorragend für Prozess- wie auch Bias-Applikationen geeignet, konfigurierbare Arc-Reaktion – geringe Arc-Schädigung
- Zahlreiche Display-/Steueroptionen
- Präzise Prozesssteuerung
- Erfüllt Sicherheits-/Emissionsstandards
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- Branchenweit höchster Effizienz- und Leistungsfaktor
- Kompakt – bis zu 15 kW in ½-Rack-Einheit, 3 HE, breiter Single-Tap
- Serielle Kommunikation über Profibus und RS-232
- Targetkonditionierungszyklus (TCC) – minimiert die Konditionierungszeit für neue Targets
- Wasserkühlung
- Nur 400 VAC-Eingang
- Extrem niedrige gespeicherte Energie – weniger als 6 mJ/kw Ausgangsleistung
- Wiederholgenauigkeit Ausgang ±0,1% bei >15% Leistung
- Joulemodus-optimierte Energieversorgung
- Programmierbare Grenzen für Ausgangsspannung, Zündspannung und Prozessspannung
- Nichtflüchtige Einstellungsspeicherung
- CE-Zeichen
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Literatur Download
Pinnacle® Series DC Magnetron Power Supplies brochure
Pinnacle® Diamond data sheet
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
A Novel Frequency-Domain Small-Signal Analysis of Resonant Power Converters, July 2004 magazine reprint
Partial Pressure Control in Reactive Sputtering, June 2004 magazine reprint
Power Supplies Advance Beyond Volts and Amps, June 2003 magazine reprint
AE Global Services brochure
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