Photo of Pinnacle Plus+ DC power system
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Pinnacle® Plus+ Netzgerät mit gepulstem Gleichstrom
Das Pinnacle® Plus+ Netzgerät von Advanced Energy (AE) bietet Ihnen alle Vorteile von gepulstem Gleichstrom für Ihre reaktiven Prozesse. Die kompakte Bauweise mit nur einem Gehäuse macht das Gerät darüber hinaus äußerst benutzerfreundlich, kostengünstig und überaus flexibel. Das Pinnacle Plus+ Netzgerät vereint in sich DC-Standardtechnologie und prozesserprobte, gepulste DC-Technologie, die AE in den 90er Jahren patentieren ließ. So bietet das Gerät im Vergleich zu komplexen und teuren Wechselstromlösungen höhere Beschichtungsraten, höhere wiederholbare Leistung und hervorragende Filmqualität. Zur Produktreihe Pinnacle Plus+ gehören 5-kW- und 10-kW-Modelle mit Einzelausgang sowie 5-kW-Modelle mit Doppelausgang.


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Höhere Beschichtungs- und Ausbeuteraten
  • Hervorragende Filmhomogenität und Filmqualität 
  • Geringere Substratschädigung durch Überschläge („Arcing“) 
  • Kosteneinsparung 
  • Einfache Systemintegration 
  • Hervorragende Prozessflexibilität und Spielraum 
  • Wiederholbare Performance 
  • Stabiler Betrieb im oberen Bereich der Übergangskurve 
  • Höherer Durchsatz 
  • Praktische Überwachung und Steuerung 
  • Unübertroffene Systemflexibilität
  • Eine kompakte Einheit
  • Flexibel einstellbare Frequenz zwischen 5 und 350 kHz 
  • Variabler Arbeitszyklus bis 45% 
  • Großer Spannungsbereich – Großer Single-Tap-Impedanzbereich 
  • Hochleistungsbetrieb 
  • Geringe Substraterwärmung 
  • Einzelausgang (5-kW- und 10-kW-Modelle) 
  • Doppelausgang (5-kW-Modell) für Mehrkammernproduktion 
  • Hervorragende Arc-Kontrolle 
  • Doppelausgang für Mehrkammernproduktion
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