GLEICHSTROM
Photo of Pinnacle Series DC power system
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Pinnacle® Serie

Die felderprobte Pinnacle®-Plattform von DC-Stromversorgungen bietet erstaunliche Prozesskonsistenz und Regelung für signifikante Variationsverminderung und höhere Ausbeute. Dieses kompakte, vielseitige Paket bietet die branchenweit niedrigste gespeicherte Energie, das am schnellsten reagierende Arc-Unterdrückungssystem sowie den größten Ausgangsimpedanzbereich

Vorteile Leistungsmerkmale
  • Extrem niedrige Betriebs- und Installationskosten
  • Branchenweit schnellste Arc-Reaktion
  • Konfigurierbare Arc-Reaktion
  • Maximale Prozesseffizienz
  • Präzise Prozesssteuerung
  • Extrem niedrige gespeicherte Energie – weniger als 1 mJ/kw Ausgangsleistung
  • Keine Tap-Änderungen
  • 4:1 Impedanzbereich
  • Targetkonditionierungszyklus –TCC) –- minimiert die Konditionierungszeit für neue Targets
  • Wiederholgenauigkeit am Ausgang ±0,1%
  • Joulemodus-optimierte Energieversorgung


Literatur Download

Pinnacle® Series DC Magnetron Power Supplies brochure
Understanding and Optimizing Static Deposition Processes for TFT Manufacturing (2008) white paper
Reactive Sputter Deposition of Aluminum Oxide Coatings, April 2004 magazine reprint
Reactively Sputtering High on the Transition Curve Using a Few Inexpensive Components, April 2002 magazine reprint
AE Global Services brochure

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