PLASMAQUELLEN
Photo of Litmas RPS 1501 and 3001 remote plasma source platform
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Litmas® RPS 1501 und 3001 Remote Plasma Source Plattform

Die Litmas® RPS ist das einzige vollintegrierte Remote-System für induktive Plasmaquellen und Stromversorgung in einer hoch leitfähigen Geometrie mit geringer Oberfläche. Es eignet sich optimal für die Zufuhr von Reaktivgasspezies für Prozesse wie Wafer-Vorreinigung, Fotolackentfernung und Atomlagenabscheidung (ALD). Zudem ist es aufgrund seiner Hochleistungsdichte und hohen Leitfähigkeit die ideale Plattform für Abgasreinigung nach dem Prozess.
Die Litmas RPS liefert bis zu 3kW stabile Hochfrequenzleistung in weniger als 3 msek und macht so schneller wechselnde, Sub-90-nm- und 300-mm-Prozesse möglich.
Vorteile Leistungsmerkmale
  • Verringerte Ladeschäden bei zerbrechlichen Gerätestrukturen
  • Hohe Flussgenerierung bei reaktiven Spezies
  • Breite Palette an Prozesschemieverfahren
  • Stabile Stromlieferung mit rascher Abstimmung
  • Niedrigere Betriebskosten
  • Höhere Endbenutzerprozessentwicklung und Ausbeute
  • Integriertes Netzgerät, Abstimmeinheit und Plasmakammer
  • Patentierte LitmasMatch™ Festkörper-Stromlieferungsstruktur
  • Plug-and-Play-Installation
  • Einzigartig breiter Abstimmungsbereich
  • Beständiges Kammermaterial aus SiO2 bzw. Al2O3
  • Kleine Standfläche
  • Höchste Plasmaleistungsdichte auf dem Markt
  • Extrem geringe Schwankungen zwischen Quellen

Literatur Download

Litmas® RPS 1501 and 3001 Remote Plasma Source Platform brochure
Litmas® RPS Remote Plasma Source technical specification
AE Global Services brochure

 

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