STROMVERSORGUNGSSYSTEME
Advanced Energy ist ein weltweit führender Lieferant von Stromversorgungen für die Herstellung von Halbleitern, Flachbildschirmen, Datenspeicherprodukten, Solarzellen, Architekturglas und anderen hochentwickelten Produktanwendungen. Unsere Produkte bieten:
  • Konkurrenzlose Plasmastromsteuerung
  • Unübertroffenes DC- und HF-Arc-Handling
  • Technologie mit Spitzenkompatibilität
  • Führende, integrierte und felderprobte Stromlieferungslösungen

Unsere Netzressourcen eignen sich für:

  • HF-Reinigung
  • Metallätzen und dielektrisches Ätzen
  • Fotolack-Ashing 
  • Chemische Gasphasenaufdampfung (CVD)
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenaufdampfung (PECVD)
  • Physikalische Gasphasenaufdampfung (PVD)
  • Sputter-Aufdampfung

Überdies bieten wir DC-Sputtern (reaktiv und metallisch), Doppelkathoden-AC-Sputtern und PECVD sowie Einheiten für Ionenstrahlbeschichtung, reaktive Ionenstrahlätzung (RIBE) sowie High-Tech Plasma-Mess-Anwendungen.


Muster zur Auswahl der Stromversorgung

Power supply selection matrix


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