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DRUCKBASIERTE MFCs
Aera® FC-P2000 pressure-based MFCs: precise control of low gas flow, highly effective in safe delivery system (SDS) applications.
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Aera® FC-P2000 Serie - MFC

Der druckbasierte MFC FC-P2000 sorgt für präzise Gasstromregelung innerhalb eines breiten Eingangsdruckbereiches. Dies macht ihn besonders leistungsstark für Safe-Delivery-System (SDS)-Anwendungen, bei denen der Quellgasdruck mit dem Gaskonsum langsam sinkt.
Der FC-P2000 MFC regelt Gasdurchflüsse von 2 bis 4 sccm (N2 Equivalent) bis zu einem Zylinderdruck von 5 Torr, und sorgt so für bis zu 95% Gasnutzung im Zylinder.
Vorteile Leistungsmerkmale
  • Hohe Präzision
  • Kosteneffizient
  • Einfacher Ersatz für bestehende SDS-MFC
  • Verminderte Blockierung
  • Schalldüsentechnologie

Literatur Download

Digital Mass Flow Controllers (2005) white paper
Fundamentals of Mass Flow Control (2005) white paper
Revised Conversion Factor (2002) white paper
Mass Flow Control Fundamentals and Troubleshooting data sheet

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