SCHULUNGEN
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Grundlagenseminar: Hochfrequenztechnik für plasmagestützte Prozesse

Das branchenführende Grundlagenseminar: Hochfrequenztechnik für plasmagestützte Prozesse von Advanced Energy dient zum bessern Verständnis und Optimierung von HF-Stromversorgungsystemen in Plasmaanlagen. Neue Mitarbeiter profitieren ebenso wie Experten von der detaillierten theoretischen Schulung und den dazu passenden praktischen Übungen. Der Kurs verhilft zu einem besseren Verständnis der in Plasmaanlagen eingesetzten HF-Technologie und HF-Übertragungstechnik. Zudem wird auf die entscheidende Rolle der Impedanzanpassung HF-Systemen eingegangen.

Vorteile Leistungen
  • Geringere Anlagenbetriebskosten
  • Optimierte Anlagen produktivität
  • Bessere Problemlösungskenntnisse und diagnostische Qualifikationen
  • Erhöhte Ausbeute aufgrund von Optimierung
  • Grundlagen von HF-Technologie und Übertragungstechnik
  • Klärung von Begriffen wir „Forward“ und „Reflected“ Power
  • Erdung und Schirmung in Hochfrequenzsystemen
  • Impedanzanpassung in HF-Systemen von Plasmaanlagen
  • Verständnis und Verwendung einfacher Messtechniken zur Charakterisierung von-HF Problemen
  • Praktische Übungen zu den erlernten Themen.


Literatur Download

RF Power Fundamentals Course data sheet
Maximizing tool uptime and process stability through an RF system upgrade, Oct/Nov 2004 magazine reprint
Fabs can ride through voltage sags with power-quality targets, July 2004 magazine reprint
AE Global Services brochure

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