HALBLEITER

Advanced Energy ist weltweit führend bei Entwicklung und Support der Technologien, die für die Hochtechnologie-Fertigungsverfahren bei der Herstellung von Halbleitern wichtig sind. Die präzisen, flexiblen Stromversorgungen, die zuverlässigen Durchflussregelsysteme für Gase und Flüssigkeiten sowie die präzisen Geräte zur Temperaturmessung und -kontrolle des Unternehmens kommen alle bei den mehrstufigen Fertigungsverfahren von Halbleitergeräten, einschließlich der Beschichtung (PVD, CVD, Galvanisierung, ALD), chemischen Abtragung (Ätzen, Ablösen, CMP) und Oberflächenmodifikation (Ionenimplantation, RTP), zum Einsatz.

Stromversorgungssysteme

Quellentechnologie

Temperaturmessung

 

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