TEMPERATURMESSUNG
Foto von Sekidenko OR 4000T und OR4000E Glasfaserthermometern und Emissometern
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Sekidenko OR4000T & OR4000E Glasfaserthermometer & Emissometer

Die OR4000T und OR4000E Mehrkanal-Glasfaserthermometer (Optical Fiber Thermometer, OFT) von Advanced Energy bieten branchenführende kontaktlose Temperaturmessung für RTP, HDP-CVD, MOCVD, UV-Härtung und andere Halbleiterprozesse. Das Modell OR4000T zeichnet sich durch Mehrkanal-Funktionalität aus und unterstützt Lesegeschwindigkeiten bis zu 2 kHz für die anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen. Das Modell OR4000E bietet wie das Modell OR4000T eine hohe Lesegeschwindigkeit und verfügt darüber hinaus über Echtzeit-Emissionsausgleich. Beide Modelle sind auf Modulbasis aufgebaut und können rasch den speziellen Anforderungen des jeweiligen Anwendungsfalls angepasst werden.
 


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Genauere Temperaturmessung
  • Verbesserte Wiederholpräzision und geringere Abweichungen
  • Erhöhte Produktivität, Ausbeute und erhöhter Durchsatz
  • Erhöhte Stabilität und Verlässlichkeit bei vielen Kammern und Materialien
  • Kontaktlose In-situ-Temperaturmessung
  • Echtzeit-Emissionsmessung und -ausgleich
  • Branchenführende Temperatur- und Emissionslesegeschwindigkeit
  • Hochflexible Plattformarchitektur auf Modulbasis
  • Vollständiges E/A- und Steuerungsset einschließlich externem Auslösereingang und Synchronisationsausgang


Literatur Download

Sekidenko OR 4000T and OR4000E OFT and Emissometers data sheet     Deutsch
Infrared Thermometry (2006) white paper
AE Global Services brochure
 

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