Sekidenko OR 400T Glasfaserthermometer
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Sekidenko OR400T Glasfaserthermometer
Das OR400T-Glasfaserthermometer (Optical Fiber Thermometer, OFT) von Advanced Energy® erweitert die Flexibilität der Glasfaserthermometer-Serie, um eine kostengünstige Lösung zur kontaktlosen Temperaturmessung für volumenstarke Halbleiteranwendungen, wie PECVD, LPCVD, PVD und Metallätzung. Aufgrund der kompakten Bauweise lässt sich das OR400T leicht integrieren und kann so die speziellen Anforderungen vieler Anwendungen erfüllen.

Vorteile Leistungsmerkmale
  • Genauere Temperaturmessung
  • Erhöhte Wafer-zu-Wafer-Homogenität
  • Eine kostengünstige Alternative zur Thermoelementmessung
  • Erhöhte Produktivität, Ausbeute und erhöhter Durchsatz
  • Kompakte Einkanal-Bauweise
  • Kontaktlose In-situ-Temperaturmessung
  • Unterstützung von RS-232- und analogen Datenschnittstellen bei bis zu 20 Temperaturmesswerten pro Sekunde
  • Verbesserte Leistung im Niedrig-Temperaturbereich