TEMPERATURMESSUNG
Foto von Sekidenko OR 400T Glasfaserthermometern
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Sekidenko OR400T Glasfaserthermometer

Das OR400T-Glasfaserthermometer (Optical Fiber Thermometer, OFT) von Advanced Energy erweitert die Flexibilität der Glasfaserthermometer-Serie um eine kostengünstige Lösung zur kontaktlose Temperaturmessung für mehrere Halbleiter-Großserienanwendungen wie PECVD, LPCVD, PVD und Metallätzung. Aufgrund seiner kompakten Bauweise lässt sich das OR400T leicht integrieren und kann so die speziellen Anforderungen von vielen Anwendungsfällen erfüllen.
 


Vorteile Leistungsmerkmale
  • Genauere Temperaturmessung
  • Erhöhte Wafer-zu-Wafer-Homogenität
  • Eine kostengünstige Alternative zur Thermoelementmessung
  • Erhöhte Produktivität, Ausbeute und erhöhter Durchsatz
  • Kompakte Ein-Kanal-Bauweise
  • Kontaktlose In-situ-Temperaturmessung
  • Unterstützung von RS-232- und analogen Datenschnittstellen bei bis zu 20 Temperaturmesswerten pro Sekunde
  • Verbesserte Leistung im Niedrig-Temperaturbereich


Literatur Download

Sekidenko OR400T Optical Fiber Thermometers data sheet     Deutsch
Infrared Thermometry (2006) white paper
Traditional Chinese version of AE Celebrates Its 25-Year Anniversary With New Product Launches, October 2006 magazine reprint    
AE Global Services brochure

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