Sekidenko OR400T Glasfaserthermometer
Das OR400T-Glasfaserthermometer (Optical Fiber Thermometer, OFT) von Advanced Energy erweitert die Flexibilität der Glasfaserthermometer-Serie um eine kostengünstige Lösung zur kontaktlose Temperaturmessung für mehrere Halbleiter-Großserienanwendungen wie PECVD, LPCVD, PVD und Metallätzung. Aufgrund seiner kompakten Bauweise lässt sich das OR400T leicht integrieren und kann so die speziellen Anforderungen von vielen Anwendungsfällen erfüllen.
| Vorteile |
Leistungsmerkmale |
- Genauere Temperaturmessung
- Erhöhte Wafer-zu-Wafer-Homogenität
- Eine kostengünstige Alternative zur Thermoelementmessung
- Erhöhte Produktivität, Ausbeute und erhöhter Durchsatz
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- Kompakte Ein-Kanal-Bauweise
- Kontaktlose In-situ-Temperaturmessung
- Unterstützung von RS-232- und analogen Datenschnittstellen bei bis zu 20 Temperaturmesswerten pro Sekunde
- Verbesserte Leistung im Niedrig-Temperaturbereich
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Literatur Download
Sekidenko OR400T Optical Fiber Thermometers data sheet
Infrared Thermometry (2006) white paper
Traditional Chinese version of AE Celebrates Its 25-Year Anniversary With New Product Launches, October 2006 magazine reprint
AE Global Services brochure
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