Die induktiv gekoppelten Plasmaquellen und atmosphärische Quellentechnologie von Advanced Energy liefern raffinierte und stromlinienförmige Designkonzepte für Ihre hochentwickelten Prozesse. Das Ergebnis – nahtlose Integration, außergewöhnliche Verlässlichkeit sowie ein hohes Maß an Funktionalität, das Ihre Produktions- und Abscheidungsprozesse auf die nächste Stufe rücken lässt.

Plasmaquellen
Integrierte Stromversorgungs-/Plasmaquellen, die hochdichtes Plasma für die Fernzufuhr aktivierter Spezies generieren

PFC Abgasverminderung
Ene Lösung für die Abgasreinigung, die den Anteil an der globalen Erwärmung in der Halbleiterindustrie reduziert